پلازما جي مٿاڇري جي صفائي هڪ عمل آهي جنهن ۾ نموني جي مٿاڇري جي آلودگي ۽ آلودگي کي هٽايو ويندو آهي اعلي توانائي وارو پلازما گيس جي ذرات مان پيدا ڪرڻ سان، اهو مختلف ايپليڪيشنن لاء ٺهيل هو جهڙوڪ سطح جي صفائي، مٿاڇري جي نسبندي، مٿاڇري کي چالو ڪرڻ، مٿاڇري جي توانائي جي ڦيرڦار، bonding ۽ adhesion لاء مٿاڇري جي تياري، مٿاڇري جي ڪيمسٽري جي ترميم.